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Detector de cuatro sondas combinado de doble electricidad
I. Principio del método de cuatro agujas de exploración de la combinación de doble electricidad:
1. aplicar el método de medición de Vanderbilt a la sonda lineal de cuatro mediante el uso de la tecnología de medición combinada de cuatro sondas y dos posiciones. Utilizando la transformación combinada de la sonda de corriente y la sonda de voltaje, se realizan dos mediciones eléctricas, y los resultados finales del cálculo pueden eliminar automáticamente los efectos adversos en los resultados de las mediciones causados por factores como el tamaño geométrico de la muestra, el efecto de límite y el desplazamiento desigual y mecánico de la sonda.
2. durante el proceso de prueba, se pueden ignorar factores como el espaciamiento de la sonda, el tamaño de la muestra y la posición de la sonda en la superficie de la muestra cuando se cumplen las condiciones básicas.
3. corrección automática que reduce su impacto en los resultados de las pruebas, mejorando así la precisión de los resultados de las mediciones.
II. Ventajas del método de cuatro sondas de combinación eléctrica doble:
1. el método convencional de medición de cuatro sondas no se puede resolver, y las condiciones de límite geométrico y el espaciamiento de la sonda se corrigen automáticamente.
2. se aplica a todo tipo de formas de películas delgadas y materiales semiconductores en láminas.